壓力傳感器是工業實踐中常用的一種傳感器,它應用廣泛,不僅可以測量壓力,還可以測量加速度、負荷、位移、流量等其他物理量。壓力傳感器廣泛應用于水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電 力、船舶、機床、管道等工業自控環境中。
傳統的測力方法是利用彈性材料的形變和位移來表示,它的體積大、便攜性差 輸出信號是非電量。隨著微電子的發展,半導體壓力傳感器的出現,使壓力傳感器 有了長足進步。
壓力傳感器的種類繁多.按照制作原理可以分為利用壓電效應制成的壓電式傳 感器、利用壓阻效應制成的壓阻式傳感器和利用應變效應制成的應變式傳感器。這些傳感器利用不同的原理和不同的材料在不同場合發揮著重要作用。
壓電傳感器只能用于動態測量,這是因為外力作用在壓電元件上產生的電荷只有在無泄漏的情況下才能保存,需要測量回路具有無限大的輸人阻抗,這實際上是不可能的,因此壓電式傳感器不能用于靜態測量。壓電傳感器主要應用在加速度、 壓力和力等的測量中。
壓阻式傳感器對靜態和動態的測量都能保持很高的精度,在航天航空這種對壓力精度要求特別嚴格的領域,壓阻式傳感器得到了廣泛的應用。
應變式傳感器廣泛用于力、力矩、壓力和加速度等參數的測量。
此外,壓力傳感器還有電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。
壓力傳感器技術參數:
1.額定壓力范圍
額定壓力范圍是滿足標準規定值的壓力范圍。也就是在最高和最低溫度之間,傳感器輸出符合規定工作特性的壓力范圍。在實際應用時傳感器所測壓力在該范圍之內。
2.最大壓力范圍
最大壓力范圍是指傳感器能長時間承受的最大壓力,且不引起輸出特性永久性改變。特別是半導體壓力傳感器,為提高線性和溫度特性,一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此,即使在額定壓力以上連續使用也不會被損壞。一般最大壓力是額定壓力最高值的2-3倍。
3.壓力遲滯
為在室溫下及工作壓力范圍內,從最小工作壓力和最大工作壓力趨近某一壓力時,傳感器輸出之差。
4.溫度范圍
壓力傳感器的溫度范圍分為補償溫度范圍和工作溫度范圍。補償溫度范圍是由于施加了溫度補償,精度進入額定范圍內的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。
5.損壞壓力
損壞壓力是指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的最大壓力。
6.線性度
線性度是指在工作壓力范圍內,傳感器輸出與壓力之間直線關系的最大偏離。
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